FOUP 반송 및 저장을 관리하며, 이종 OHT 및 작업자 간 접점 기능 수행

공정 이동간 FOUB(Wafer 보관용기)을 중간 보관 후 다음 공정으로 자동 이송하는 설비입니다.
많은 양의 FOUB을 보관할 수 있으며, RAIL System과 자동 연계됩니다.

OHT PORT : RAIL System과 자동 연계

Manual Port : 수동 조작