반도체 물류 Rail System

FOUB(Wafer 보관용기)을 각 공정간 장비로 자동 이송하기 위한 설비이며, 반도체 라인 천장에 설치합니다.

명칭 : OCS [OHT(Overhead Hoist Transport) Control System]

반송대상 - FAB : FOUP, FOSB, Reticle, wafer - Backend : Cassette, Magazine, Tray

반송 Interface : 공정 설비, Stocker, Conveyor, Lifter