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OHT Rail System
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반도체 물류 Rail System

FOUB(Wafer 보관용기)을 각 공정간 장비로 자동 이송하기 위한 설비이며, 반도체 라인 천장에 설치합니다.

명칭 : OCS [OHT(Overhead Hoist Transport) Control System]

반송대상
- FAB : FOUP, FOSB, Reticle, wafer
- Backend : Cassette, Magazine, Tray
반송 Interface : 공정 설비, Stocker, Conveyor, Lifter